靶材技术指标：纯 度：3-4 N 主要成分：ZnO：Al2O3= 97:3 [可根据用户要求调整Al2O3掺杂比 (0-4) wt%] 相对密度：d≥ 98% 理论密度：ρ= 5.6 g•cm-3 实际密度：ρ≥ 5.5 g•cm-3 致密性均一：从横断面看无白点或大颗粒 2.镀膜性能：方块电阻：膜厚900 nm左右时，方阻≤ 10Ω/□ 电 阻 率：ρ≤ 9×10-4 Ω•cm 可见光透过率：T≥ 80% 3.溅射功率密度：目前国内镀膜设备适用功率3-4 w•cm -2，在设备冷却系统好的情况下，最高功率可达10 w•cm -2 4.可生产最大尺寸(mm)：最大模具规格：L×W=334 ×272，现有L×W×H=330×135×12，160×135×12,160×135×9三种规格，厚度可根据客户要求生产。
