合金靶材
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钼靶材主要用于平面显示行业,属于钼金属制品生产链最顶端产品

2016-04-22 00:00:00

      靶材主要用于平面显示行业,属于钼金属制品生产链最顶端产品新靶材含有与刀具及模具等的母材的密着性高、且润滑性出色的钼。因此可省去用于提高密着性的衬底用靶材,降低成本。一般情况下,高硬度覆膜与母材的物理特性不同,会在界面产生过大应力,容易剥离。为了解决这一问题,原来大多要形成使用碳化钨及铬等靶材的衬底层,提高密着性。


硬质覆膜如果是含有钼单一金属层的、与氮化钛(TiN)的混合组织,硬度低的钼往往会导致整体硬底下降。因此,两公司运用大同特殊钢的悬浮感应熔炉(LIF),确立了制造拥有钛和钼的均匀金属组织的固溶体型合金靶材的工艺。还通过使用由该工艺制造的靶材,实现了高硬度的钼钛合金覆膜。

  钼靶材主要用于平面显示行业,属于钼金属制品生产链最顶端产品,技术含量高、生产难度大。金钼股份板材分公司面对国内外的技术封锁,在没有技术参数、没有有效资料、没有生产经验可借鉴的情况下,全体员工齐心协力,从零开始,逐项攻克五大技术难关、150余项技术难题,不断摸索、总结完善,终于自主研发、生产出具有完全知识产权的4.5代、5.0代、5.5代靶材,产品规格一次一次刷新纪录。仅此一项为金钼股份板材分公司节约资金1000余万元。

  以目前面板技術的發展而言,超高解析度(UHD 4K2K)的產品將愈來愈普及,而台灣面板業者是這項技術的領導先趨。因應這項技術,電晶體必須做得更細緻,唯有穩定性佳、純度更高與特性優異的鉬濺鍍靶材,才能協助客戶達到這項需求,然而這並不是一項容易的任務。


在薄膜材料的領域,PLANSEE是台灣面板產業的最佳夥伴,以鉬濺鍍靶材而言,PLANSEE百分百的一條龍自製生產線,是唯一能保證99.97%以上高純度與高品質的供應商,且已廣泛使用在UHD 4K2K的產品。


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